【เลิกผลิตแล้ว】เครื่องวิเคราะห์ไมโครโพรบอิเล็กตรอนปล่อยภาคสนาม JXA-8530FPlus

JEOL ได้จำหน่าย FE-EPMA เครื่องแรกของโลก นั่นคือ JXA-8500F ในปี 2003 FE-EPMA ที่ได้รับการยกย่องนี้มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในด้านต่างๆ เช่น โลหะ วัสดุ และธรณีวิทยาทั้งในอุตสาหกรรมและวิชาการ JXA-8530FPlus เป็น FE-EPMA รุ่นที่สามที่มาพร้อมกับความสามารถในการวิเคราะห์และภาพที่ได้รับการปรับปรุง ปืนอิเล็กตรอนแบบปล่อยสนามในเลนส์ Schottky รวมกับซอฟต์แวร์ใหม่ให้ปริมาณงานที่สูงขึ้นในขณะที่ยังคงความเสถียรสูง ดังนั้นจึงช่วยให้สามารถใช้งาน EPMA ได้หลากหลายขึ้นด้วยความละเอียดสูงกว่า

คุณสมบัติ

รุ่น In-Lens Schottky Plus FEG EPMA

รุ่น In-Lens Schottky Plus FEG EPMA ที่มีความหนาแน่นกระแสเชิงมุมที่ปรับให้เหมาะสม ช่วยให้สามารถวิเคราะห์ด้วยกระแสโพรบขนาดใหญ่ 2μA หรือมากกว่า ความละเอียดของภาพอิเล็กตรอนทุติยภูมิได้รับการปรับปรุงให้ดีขึ้นแม้ในสภาวะการวิเคราะห์โดยการปรับมุมคอนเวอร์เจนซ์ที่ถูกต้องโดยอัตโนมัติ

ซอฟต์แวร์ขั้นสูง

มีระบบแอปพลิเคชันขั้นสูงที่ใช้ Microsoft Windows® มากมาย ซึ่งรวมถึง:

• โปรแกรมวิเคราะห์ธาตุติดตามสำหรับการวิเคราะห์องค์ประกอบการติดตามที่ง่ายขึ้นและเหมาะสมยิ่งขึ้น รวมถึงการเพิ่มข้อมูลที่รวบรวมจากสเปกโตรมิเตอร์สูงสุด 5 เครื่อง

• Phase Map Maker สำหรับการสร้างเฟสแมปโดยอัตโนมัติตามส่วนประกอบหลัก

• โปรแกรมวิเคราะห์พื้นผิวไม่เรียบสำหรับการวิเคราะห์ WDS อัตโนมัติของชิ้นงานทดสอบที่มีพื้นผิวไม่เรียบ สิ่งนี้เป็นไปได้เนื่องจากระยะ Z ขนาดใหญ่ของแท่น (7.5 มม.)

การกำหนดค่า WDS ที่ยืดหยุ่น

สามารถเลือกเครื่องเอ็กซ์เรย์สเปกโตรมิเตอร์ (WDS) ได้หลายแบบ: รัศมีวงกลม Rowland 140 มม. (140R) หรือ 100 มม. (100R) คริสตัล 2 แบบหรือคริสตัล 4 แบบ และคริสตัลขนาดมาตรฐานหรือขนาดใหญ่ผสมกัน
XCE (2 xtl) X-ray Spectrometer, FCS (4 xtl) X-ray Spectrometer และ X-ray Spectrometer L (ขนาดใหญ่ 2 xtl) สำหรับ 140R มีช่วงสเปกตรัมกว้างและให้ความละเอียดความยาวคลื่นที่เหนือกว่าและยอดถึงพื้นหลัง อัตราส่วน สเปกโตรมิเตอร์เอ็กซ์เรย์ชนิด H ของ 100R ให้ความเข้มของเอ็กซ์เรย์สูง ผู้ใช้สามารถเลือกจากสเปกโตรมิเตอร์เหล่านี้ได้ขึ้นอยู่กับความต้องการ

ระบบ WDS/EDS แบบผสมผสาน

JXA-8530FPlus มาพร้อมกับ 30mm . ของ JEOL² เครื่องตรวจจับซิลิคอนดริฟท์ (SDD)
SDD ที่มีอัตราการนับสูงพร้อมด้วยรูรับแสงแบบปรับได้ในแหล่งกำเนิดช่วยให้สามารถวิเคราะห์ EDS ที่สภาวะ WDS ได้ สามารถรับสเปกตรัม EDS แผนที่ และเส้นได้พร้อมกันกับข้อมูล WDS

ห้องเอนกประสงค์

JXA-8530FPlus มาพร้อมกับห้องตัวอย่างและห้องแลกเปลี่ยนชิ้นงานทดสอบที่ขยายได้สูง ช่วยให้คุณสามารถรวมอุปกรณ์เสริมต่างๆ เข้ากับห้องเพาะเลี้ยงได้

เหล่านี้รวมถึง:

• ระบบการเลี้ยวเบนกลับของอิเล็กตรอน (EBSD)

• เวทีย่อยหมุนเอียง

• เครื่องตรวจจับ Cathodoluminescence

• สเปกโตรมิเตอร์เอ็กซ์เรย์แบบอ่อน

• เรือขนส่งแบบแยกอากาศ

• แหล่งไอออนอัตราการกัดเซาะสูง น้ำยาทำความสะอาดในแหล่งกำเนิด ฯลฯ

ระบบดูดฝุ่นที่ทรงพลัง

JXA-8530FPlus ใช้ระบบสุญญากาศที่ทรงพลังและสะอาด ซึ่งรวมถึงปั๊มโมเลกุลเทอร์โบที่ลอยด้วยแม่เหล็กสองตัว นอกจากนี้ยังมีห้องกลางแบบสองขั้นตอนสำหรับคอลัมน์ออปติคัลอิเล็กตรอน ดังนั้นจึงรักษาสูญญากาศสูงในห้องปืนอิเล็กตรอนโดยการสูบน้ำแบบดิฟเฟอเรนเชียล
การเพิ่มปั๊มสโครลเสริมและนิ้วเย็นไนโตรเจนเหลวทำให้เกิดระบบสุญญากาศไร้น้ำมันขั้นสุดยอด

สเปกโตรมิเตอร์เอ็กซ์เรย์แบบอ่อน (SXES)

สเปกโตรมิเตอร์เอ็กซ์เรย์แบบอ่อน (SXES)

Soft X-ray Emission Spectrometer ที่มีความละเอียดพลังงานสูงเป็นพิเศษ ได้รับการพัฒนาร่วมกันโดย Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University (Prof. M. Terauchi) และ JEOL Ltd. เป็นต้น
Variable-line-spacing (VLS) ตะแกรงช่วยให้สามารถตรวจจับได้พร้อมกัน (เหมือนกับ EDS) และช่วยให้สามารถตรวจจับสเปกตรัม Li-K และ BK ด้วย CCD ที่มีความไวสูงได้ สเปกโตรมิเตอร์นี้ให้ความละเอียดพลังงานสูงอย่างยอดเยี่ยม ทำให้สามารถวิเคราะห์สถานะพันธะเคมีโดยละเอียดได้

miXcroscopy (กล้องจุลทรรศน์แบบสหสัมพันธ์)

miXcroscopy Linked Optical & Scanning Electron Microscopy System

พื้นที่ที่น่าสนใจพร้อมกับพิกัดระยะ XY ที่อยู่ในกล้องจุลทรรศน์แบบออปติคัลสามารถบันทึกและโอนไปยัง EPMA เพื่อการนำทางไปยังตำแหน่งที่ต้องการสำหรับการถ่ายภาพและการวิเคราะห์ 

ข้อบ่งชี้จำเพาะ

ดาวน์โหลดแคตตาล็อก

JXA-8530FPlus Field Emission Electron Probe เครื่องวิเคราะห์ไมโคร

การใช้งาน

แอปพลิเคชัน JXA-8530FPlus

ไบโอโน้ต

ข้อมูลเพิ่มเติม