IB-19520CCP ข้ามส่วนขัด™
ความเสียหายจากความร้อนสามารถลดลงได้โดยการทำให้ชิ้นงานเย็นลงด้วยไนโตรเจนเหลวในระหว่างการประมวลผล ออกแบบมาเพื่อลดการใช้ไนโตรเจนเหลว ทำให้สามารถทำความเย็นได้นาน การทำให้ชิ้นงานเย็นลงอย่างรวดเร็วในขณะที่แช่อยู่ในไนโตรเจนเหลว กลับสู่อุณหภูมิห้อง ออกแบบมาเพื่อให้ถอดชิ้นส่วนได้ รวมกลไกที่ช่วยให้กระบวนการตั้งแต่การขัดเงาจนถึงการสังเกตดำเนินการได้โดยไม่ต้องให้ตัวอย่างสัมผัสกับอากาศ
คุณสมบัติ
คุณสมบัติของ IB-19520CCP
เอฟเฟกต์ความเย็น
ตัวอย่าง: เหล็กกัลวาไนซ์
การกัดแบบธรรมดา (ไม่มีการหล่อเย็น)
แรงดันไฟเร่ง 4kV
การกัดเย็น (อุณหภูมิตัวจับยึด -120 °C)
แรงดันไฟเร่ง 4kV
สำหรับการกัดแบบธรรมดา (โดยไม่ทำให้เย็นลง) จะมีช่องว่างที่มองเห็นได้ระหว่างเหล็กกับสังกะสี ซึ่งมองไม่เห็นในการหล่อเย็น
ใช้กลไกการควบคุมอุณหภูมิ (ตัวเลือก) สำหรับการทำความเย็น
ตัวอย่าง: Si wafer bonding surface
การกัดแบบธรรมดา (ไม่หล่อเย็น)
คูลลิ่ง (อุณหภูมิของตัวยึด -150 ° C) แรงดันไฟฟ้าเร่ง 6kV
การควบคุมอุณหภูมิความเย็น (อุณหภูมิของตัวยึด -20 ° C) แรงดันไฟเร่ง 6kV
สำหรับการกัดธรรมดา (โดยไม่ทำให้เย็นลง) สารยึดเกาะจะเสียรูปเนื่องจากความเสียหายจากความร้อน และเกิดช่องว่างขนาดใหญ่ ที่อุณหภูมิ -150℃ การระบายความร้อนมากเกินไป และสามารถมองเห็นช่องว่างที่ขอบของพันธะและด้านทึบของแผ่นเวเฟอร์ศรี
ไม่มีช่องว่างในตัวอย่างที่เตรียมด้วยการควบคุมอุณหภูมิความเย็น
กระบวนการต่อเนื่อง การทำความเย็น และความเย็น ด้วยฟังก์ชั่นควบคุมอุณหภูมิ รองรับชิ้นงานได้หลากหลาย
ฟังก์ชั่นการตรวจสอบกระบวนการ
สามารถตรวจสอบสถานะของการกัดปาดหน้าได้แบบเรียลไทม์ด้วยกล้อง CCD
และกำลังขยายสามารถเปลี่ยนแปลงได้
ฟังก์ชั่นการเคลือบป้องกันไฟฟ้าสถิตย์
มีฟังก์ชั่นเสริมด้วยไอออนบีมสปัตเตอร์
สร้างสารเคลือบบางที่มีความละเอียดที่ดี
เหมาะสำหรับเคสที่ต้องการการจดจำรูปแบบ เช่น EBSD
ตัวจับยึดไอออนแบบระนาบ
ลำแสงไอออนจะถูกฉายรังสีในมุมต่ำเมื่อเทียบกับตัวอย่าง ทำให้สามารถขจัดสิ่งปนเปื้อนบนชั้นผิวออกได้ เช่นเดียวกับการทำให้พื้นผิวเรียบ
นอกจากนี้ยังเหมาะสำหรับการแกะสลักแบบเลือก
ชุดเตรียมตัดขวาง
นี่คือชุดเครื่องมือสำหรับการกัดบีมไอออนขณะหมุนตัวอย่าง
ชุดนี้ใช้กับตัวจับยึดเครื่องกัดไอออนแบบระนาบ
ทำให้สามารถสร้างภาพตัดขวางของตัวอย่างที่มีแนวโน้มจะเป็นรอยขาดเมื่อทำการสี เช่น วัสดุที่มีรูพรุน ผง และเส้นใย
ข้อบ่งชี้จำเพาะ
| แรงดันไฟฟ้าเร่งไอออน | 2 ถึง 8kV |
|---|---|
| ความกว้างของลำแสงไอออน | 500 μm (ความกว้างเต็มสูงสุดครึ่งหนึ่ง) |
| ความเร็วในการกัด | 500 ไมโครเมตร/ชม
(ค่าเฉลี่ยในช่วง 2 ชั่วโมงที่แรงดันไฟฟ้าเร่ง: 8 kV, ชิ้นงาน: Si, 100 μmจากขอบ) |
| อุณหภูมิการทำความเย็นสูงสุดของตัวเก็บตัวอย่าง | -120°C หรือน้อยกว่า |
| ระยะเวลาในการทำความเย็นของชิ้นงาน | 8 ชั่วโมงหรือมากกว่า |
| ความจุถังน้ำหล่อเย็น | ประมาณ 1 L |
| ขนาดตัวอย่างสูงสุด | ขนาด: 11mm(W)×8mm(D)×3mm(H) |
| ช่วงการเคลื่อนที่ของเวที | แกน X;±6mm, แกน Y; ±2.5mm |
| วิธีการแก้ไขชิ้นงานตัวอย่าง | การตัด |
| มุมสวิงของการกัดชิ้นงานตัวอย่าง | ±30°(สิทธิบัตร US4557130) |
| ตรวจสอบกำลังขยายของกล้อง | ประมาณ ×20 ถึง 100 (จอแสดงผล 6.5 นิ้ว) |
| ระบบแยกอากาศ | โอนเรือ |
| วิธีการแยกอากาศ | ตั้งค่าด้านในของห้องเพาะเลี้ยงให้อยู่ในสภาพแวดล้อมที่เป็นก๊าซ ปิดฝาถังส่งด้วยฝาปิด และห่อหุ้มชิ้นงานทดสอบเข้าไปในถัง |
| การดำเนินการ | จอทัชสกรีน 6.5 นิ้ว |
| ก๊าซ | ก๊าซอาร์กอน (อัตราการไหลควบคุมโดยตัวควบคุมการไหลของมวล) |
| เกจวัดความดัน | เพนนิ่งเกจสูญญากาศ |
| ปั๊มอพยพหลัก | ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ |
| ปั๊มช่วยอพยพ | ปั๊มโรตารี่ |
| ขนาดและมวล | หน่วยหลัก: ประมาณ. 670 มม. (กว้าง) × 720 มม. (ลึก) × 530 มม. (สูง) ประมาณ. 73㎏
ปั๊มโรตารี่: ประมาณ. 120 มม. (กว้าง) × 288.5 มม. (ลึก) × 163 มม. (สูง) ประมาณ. 9.3㎏ |
| ตัวเลือกเสริม (Option) | ที่จับชิ้นงานขนาดใหญ่ (IB-11550LSRH)
ฐานยึดฐานยึดชิ้นงาน (IB-11560MBSH) ที่จับตัวอย่างขนาดใหญ่ (IB-11570LSH) ตัวยึดเคลือบคาร์บอน (IB-12510CCH) |
ความต้องการติดตั้ง
| แหล่งจ่ายไฟ | เฟสเดียว 100 ถึง 120V±10%, 50/60Hz, 0.6KVA |
|---|---|
| ขั้วต่อสายดิน | 100Ωหรือน้อยกว่า |
| ก๊าซอาร์กอน | ความกดดัน; 0.15±0.05MPa (1.0 ถึง 2.0㎏f/cm2） ความบริสุทธิ์: 99.9999% หรือมากกว่า (ลูกค้าต้องจัดเตรียมก๊าซอาร์กอน กระบอกสูบ และตัวควบคุม) ขั้วต่อท่อ JISB0203Rc１/4 |
| อุณหภูมิห้อง | 15 ถึง 25 ° C |
| ความชื้น | 60% หรือน้อยกว่า |
ข้อมูลจำเพาะอาจเปลี่ยนแปลงได้โดยไม่ต้องแจ้งให้ทราบล่วงหน้า
ดาวน์โหลดแคตตาล็อก
IB-19520CCP ตัวขัดส่วนข้าม (TM)
การใช้งาน
แอปพลิเคชัน IB-19520CCP
สินค้าที่เกี่ยวข้อง
รุ่น JSM-IT800 Schottky Field Emission Scanning Electron Microscope
JSM-IT800 รวมเอา "ปืนอิเล็กตรอนในเลนส์ Schottky Plus field emission" ของเราสำหรับการถ่ายภาพความละเอียดสูงเพื่อทำแผนที่องค์ประกอบอย่างรวดเร็ว และระบบควบคุมอิเล็กตรอนแบบออปติคอล "Neo Engine" ที่เป็นนวัตกรรมใหม่ และระบบของ GUI "SEM Center" ที่ไร้รอยต่อ สำหรับการทำแผนที่องค์ประกอบอย่างรวดเร็วด้วยเอ็กซ์เรย์สเปกโตรมิเตอร์แบบกระจายพลังงาน (EDS) ของ JEOL ที่ฝังตัวอย่างสมบูรณ์เป็นแพลตฟอร์มทั่วไป
JSM-IT800 ช่วยให้สามารถเปลี่ยนเลนส์ใกล้วัตถุของ SEM เป็นโมดูลได้ โดยนำเสนอเวอร์ชันต่างๆ เพื่อตอบสนองความต้องการของผู้ใช้ที่หลากหลาย JSM-IT800 มีให้เลือก XNUMX รุ่นสำหรับเลนส์ใกล้วัตถุที่แตกต่างกัน: รุ่นเลนส์ไฮบริด (HL) ซึ่งเป็น FE-SEM สำหรับการใช้งานทั่วไป รุ่นเลนส์ซูเปอร์ไฮบริด (SHL/SHL สองเวอร์ชันที่มีฟังก์ชันต่างกัน) ซึ่งช่วยให้สามารถสังเกตและวิเคราะห์ความละเอียดสูงขึ้น และรุ่นกึ่งเลนส์ที่พัฒนาขึ้นใหม่ (i/is สองรุ่นที่มีฟังก์ชันต่างกัน) ซึ่งเหมาะสำหรับการสังเกตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์
นอกจากนี้ JSM-IT800 ยังสามารถติดตั้งอุปกรณ์ตรวจจับอิเล็กตรอนแบบกระจายรังสีสะท้อนกลับ (SBED) แบบใหม่และเครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนแบบกระเจิงกลับเอนกประสงค์ (VBED) ได้อีกด้วย SBED ช่วยให้ได้ภาพที่มีการตอบสนองสูง และสร้างคอนทราสต์ของวัสดุที่คมชัดแม้ใช้แรงดันไฟฟ้าที่เร่งความเร็วต่ำ ในขณะที่ VBED สามารถช่วยได้ภาพ 3 มิติ ภูมิประเทศ และคอนทราสต์ของวัสดุ ดังนั้น JSM-IT800 สามารถช่วยให้ผู้ใช้ได้รับข้อมูลที่ไม่สามารถหาได้และเพื่อแก้ปัญหาในการวัด
IB-19530CP CROSS SECTION POLISER™
IB-19530CP มีเวทีอเนกประสงค์ที่ออกแบบอย่างสร้างสรรค์เพื่อตอบสนองความต้องการของตลาดที่มีความหลากหลายมากขึ้น และตระหนักถึงฟังก์ชันอเนกประสงค์โดยผู้ถือฟังก์ชันประเภทต่างๆ แท่นอเนกประสงค์รวมกับตัวจับยึดที่ใช้งานได้เฉพาะ ทำให้ผู้ใช้สามารถทำหน้าที่ต่างๆ เช่น การกัดและขัดพื้นผิวระนาบ การเคลือบผิวด้วยสปัตเตอร์ และการกัดไอออนแบบภาคตัดขวางแบบดั้งเดิมมากขึ้น
JSM-IT700HR InTouchScope™ กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด
SEM- สิ่งจำเป็นในการทำงานในห้องแล็บรายวัน JSM-IT700HR ทำให้ง่าย
วัสดุที่มีขนาดนาโนกำลังผลักดันให้เกิดความก้าวหน้าทางเทคโนโลยีในปัจจุบัน การสังเกตและการวิเคราะห์ได้รับการอำนวยความสะดวกโดย SEM ที่เป็นนวัตกรรมใหม่และเป็นนวัตกรรม JSM-IT700HR<br>ปืนอิเล็กตรอนรุ่นใหม่ที่มีความละเอียดเชิงพื้นที่ 1 นาโนเมตร และกระแสโพรบที่ใหญ่ที่สุดที่ 300 nA เมื่อรวมกับอินเทอร์เฟซซอฟต์แวร์ที่เป็นมิตรต่อผู้ใช้เป็นพิเศษช่วยลดความยุ่งยากในการสังเกตและวิเคราะห์ใน SEM ได้อย่างมาก<br>การออกแบบเครื่องมือขนาดกะทัดรัดยังมีช่องเก็บตัวอย่างขนาดใหญ่ที่มีพอร์ตอุปกรณ์เสริมหลายช่อง รวมถึงการผสาน EDS<br><strong>JSM- IT700HR SEM ขั้นสูง ทรงพลังและใช้งานง่าย</strong>
JCM-7000 NeoScope™ แบบตั้งโต๊ะ SEM
กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดแบบตั้งโต๊ะใช้ในหลากหลายสาขา เช่น อุตสาหกรรมไฟฟ้า อิเล็กทรอนิกส์ รถยนต์ เครื่องจักร เคมี และเภสัชกรรม นอกจากนี้ การใช้งาน SEM ยังขยายขอบเขตให้ครอบคลุมการวิจัยและพัฒนาเท่านั้น แต่ยังรวมถึงการควบคุมคุณภาพและการตรวจสอบผลิตภัณฑ์ในไซต์การผลิตอีกด้วย ด้วยเหตุนี้ ความต้องการในการปรับปรุงประสิทธิภาพการทำงาน การทำงานที่เร็วและง่ายขึ้นมาก และความสามารถในการวิเคราะห์และการวัดในระดับที่สูงขึ้น กำลังเพิ่มขึ้น<br><br>กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดแบบตั้งโต๊ะ JCM-7000 ได้รับการออกแบบตาม แนวคิดหลักของ "SEM ที่ใช้งานง่ายพร้อมการนำทางที่ราบรื่นและการวิเคราะห์แบบสด" JCM-7000 ประกอบด้วยสามฟังก์ชันที่เป็นนวัตกรรมใหม่ "Zeromag" สำหรับการเปลี่ยนจากการถ่ายภาพเชิงแสงเป็น SEM อย่างราบรื่น "การวิเคราะห์แบบสด" สำหรับการค้นหาองค์ประกอบที่เป็นส่วนประกอบสำหรับพื้นที่การสังเกตภาพ และ "Live 3D" สำหรับการแสดงภาพ 3D แบบสดที่สร้างขึ้นใหม่ในระหว่างการสังเกต SEM<br><br> เมื่อคุณวาง JCM-7000 ไว้ข้างกล้องจุลทรรศน์แบบออปติคัล คุณจะสามารถทำการวิเคราะห์วัสดุแปลกปลอมและการควบคุมคุณภาพได้เร็วยิ่งขึ้นและมีรายละเอียดมากขึ้น
ข้อมูลเพิ่มเติม
คุณเป็นผู้เชี่ยวชาญทางการแพทย์หรือบุคลากรที่เกี่ยวข้องกับการรักษาพยาบาลหรือไม่?
ไม่
โปรดทราบว่าหน้าเหล่านี้ไม่ได้มีวัตถุประสงค์เพื่อให้ข้อมูลเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์แก่ประชาชนทั่วไป