ปิด Btn

เลือกไซต์ภูมิภาคของคุณ

ปิดหน้านี้

ความเสียหายจากความร้อนสามารถลดลงได้โดยการทำให้ชิ้นงานเย็นลงด้วยไนโตรเจนเหลวในระหว่างการประมวลผล ออกแบบมาเพื่อลดการใช้ไนโตรเจนเหลว ทำให้สามารถทำความเย็นได้นาน การทำให้ชิ้นงานเย็นลงอย่างรวดเร็วในขณะที่แช่อยู่ในไนโตรเจนเหลว กลับสู่อุณหภูมิห้อง ออกแบบมาเพื่อให้ถอดชิ้นส่วนได้ รวมกลไกที่ช่วยให้กระบวนการตั้งแต่การขัดเงาจนถึงการสังเกตดำเนินการได้โดยไม่ต้องให้ตัวอย่างสัมผัสกับอากาศ

คุณสมบัติ

คุณสมบัติของ IB-19520CCP

เอฟเฟกต์ความเย็น

ตัวอย่าง: เหล็กกัลวาไนซ์

การกัดแบบธรรมดา (ไม่มีการหล่อเย็น)
แรงดันไฟเร่ง 4kV

การกัดเย็น (อุณหภูมิตัวจับยึด -120 °C)
แรงดันไฟเร่ง 4kV

  • สำหรับการกัดแบบธรรมดา (โดยไม่ทำให้เย็นลง) จะมีช่องว่างที่มองเห็นได้ระหว่างเหล็กกับสังกะสี ซึ่งมองไม่เห็นในการหล่อเย็น

ใช้กลไกการควบคุมอุณหภูมิ (ตัวเลือก) สำหรับการทำความเย็น

ตัวอย่าง: Si wafer bonding surface

  • สำหรับการกัดธรรมดา (โดยไม่ทำให้เย็นลง) สารยึดเกาะจะเสียรูปเนื่องจากความเสียหายจากความร้อน และเกิดช่องว่างขนาดใหญ่ ที่อุณหภูมิ -150℃ การระบายความร้อนมากเกินไป และสามารถมองเห็นช่องว่างที่ขอบของพันธะและด้านทึบของแผ่นเวเฟอร์ศรี

ไม่มีช่องว่างในตัวอย่างที่เตรียมด้วยการควบคุมอุณหภูมิความเย็น

กระบวนการต่อเนื่อง การทำความเย็น และความเย็น ด้วยฟังก์ชั่นควบคุมอุณหภูมิ รองรับชิ้นงานได้หลากหลาย

ฟังก์ชั่นการตรวจสอบกระบวนการ

สามารถตรวจสอบสถานะของการกัดปาดหน้าได้แบบเรียลไทม์ด้วยกล้อง CCD
และกำลังขยายสามารถเปลี่ยนแปลงได้

ฟังก์ชั่นการเคลือบป้องกันไฟฟ้าสถิตย์

มีฟังก์ชั่นเสริมด้วยไอออนบีมสปัตเตอร์
สร้างสารเคลือบบางที่มีความละเอียดที่ดี
เหมาะสำหรับเคสที่ต้องการการจดจำรูปแบบ เช่น EBSD

ตัวจับยึดไอออนแบบระนาบ

ลำแสงไอออนจะถูกฉายรังสีในมุมต่ำเมื่อเทียบกับตัวอย่าง ทำให้สามารถขจัดสิ่งปนเปื้อนบนชั้นผิวออกได้ เช่นเดียวกับการทำให้พื้นผิวเรียบ
นอกจากนี้ยังเหมาะสำหรับการแกะสลักแบบเลือก

ชุดเตรียมตัดขวาง

นี่คือชุดเครื่องมือสำหรับการกัดบีมไอออนขณะหมุนตัวอย่าง
ชุดนี้ใช้กับตัวจับยึดเครื่องกัดไอออนแบบระนาบ 
ทำให้สามารถสร้างภาพตัดขวางของตัวอย่างที่มีแนวโน้มจะเป็นรอยขาดเมื่อทำการสี เช่น วัสดุที่มีรูพรุน ผง และเส้นใย

ข้อบ่งชี้จำเพาะ

แรงดันไฟฟ้าเร่งไอออน 2 ถึง 8kV
ความกว้างของลำแสงไอออน 500 μm (ความกว้างเต็มสูงสุดครึ่งหนึ่ง)
ความเร็วในการกัด 500 ไมโครเมตร/ชม
(ค่าเฉลี่ยในช่วง 2 ชั่วโมงที่แรงดันไฟฟ้าเร่ง: 8 kV, ชิ้นงาน: Si, 100 μmจากขอบ)
อุณหภูมิการทำความเย็นสูงสุดของตัวเก็บตัวอย่าง -120°C หรือน้อยกว่า
ระยะเวลาในการทำความเย็นของชิ้นงาน 8 ชั่วโมงหรือมากกว่า
ความจุถังน้ำหล่อเย็น ประมาณ 1 L
ขนาดตัวอย่างสูงสุด ขนาด: 11mm(W)×8mm(D)×3mm(H)
ช่วงการเคลื่อนที่ของเวที แกน X;±6mm, แกน Y; ±2.5mm
วิธีการแก้ไขชิ้นงานตัวอย่าง การตัด
มุมสวิงของการกัดชิ้นงานตัวอย่าง ±30°(สิทธิบัตร US4557130)
ตรวจสอบกำลังขยายของกล้อง ประมาณ ×20 ถึง 100 (จอแสดงผล 6.5 นิ้ว)
ระบบแยกอากาศ โอนเรือ
วิธีการแยกอากาศ ตั้งค่าด้านในของห้องเพาะเลี้ยงให้อยู่ในสภาพแวดล้อมที่เป็นก๊าซ ปิดฝาถังส่งด้วยฝาปิด และห่อหุ้มชิ้นงานทดสอบเข้าไปในถัง
การดำเนินการ จอทัชสกรีน 6.5 นิ้ว
ก๊าซ ก๊าซอาร์กอน (อัตราการไหลควบคุมโดยตัวควบคุมการไหลของมวล)
เกจวัดความดัน เพนนิ่งเกจสูญญากาศ
ปั๊มอพยพหลัก ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ
ปั๊มช่วยอพยพ ปั๊มโรตารี่
ขนาดและมวล หน่วยหลัก: ประมาณ. 670 มม. (กว้าง) × 720 มม. (ลึก) × 530 มม. (สูง) ประมาณ. 73㎏
ปั๊มโรตารี่: ประมาณ. 120 มม. (กว้าง) × 288.5 มม. (ลึก) × 163 มม. (สูง) ประมาณ. 9.3㎏
ตัวเลือกเสริม (Option) ที่จับชิ้นงานขนาดใหญ่ (IB-11550LSRH)
ฐานยึดฐานยึดชิ้นงาน (IB-11560MBSH)
ที่จับตัวอย่างขนาดใหญ่ (IB-11570LSH)
ตัวยึดเคลือบคาร์บอน (IB-12510CCH)

ความต้องการติดตั้ง

แหล่งจ่ายไฟ เฟสเดียว 100 ถึง 120V±10%, 50/60Hz, 0.6KVA
ขั้วต่อสายดิน 100Ωหรือน้อยกว่า
ก๊าซอาร์กอน ความกดดัน; 0.15±0.05MPa (1.0 ถึง 2.0㎏f/cm2) ความบริสุทธิ์: 99.9999% หรือมากกว่า (ลูกค้าต้องจัดเตรียมก๊าซอาร์กอน กระบอกสูบ และตัวควบคุม) ขั้วต่อท่อ JISB0203Rc1/4
อุณหภูมิห้อง 15 ถึง 25 ° C
ความชื้น 60% หรือน้อยกว่า
  • ข้อมูลจำเพาะอาจเปลี่ยนแปลงได้โดยไม่ต้องแจ้งให้ทราบล่วงหน้า

ดาวน์โหลดแคตตาล็อก

การใช้งาน

แอปพลิเคชัน IB-19520CCP

สินค้าที่เกี่ยวข้อง

ข้อมูลเพิ่มเติม

พื้นฐานวิทยาศาสตร์

คำอธิบายง่ายๆ เกี่ยวกับกลไกและ
การใช้งานผลิตภัณฑ์ JEOL

ปิดหน้านี้
แจ้งให้ทราบ

คุณเป็นผู้เชี่ยวชาญทางการแพทย์หรือบุคลากรที่เกี่ยวข้องกับการรักษาพยาบาลหรือไม่?

ไม่

โปรดทราบว่าหน้าเหล่านี้ไม่ได้มีวัตถุประสงค์เพื่อให้ข้อมูลเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์แก่ประชาชนทั่วไป

ติดต่อ

เจอีโอแอล ให้บริการสนับสนุนที่หลากหลายเพื่อให้แน่ใจว่าลูกค้าของเราสามารถใช้ผลิตภัณฑ์ของเราได้อย่างสบายใจ
โปรดติดต่อเรา