บีเอส-60610BDS
แหล่งที่มาของการทิ้งระเบิด

ความเสียหายน้อยกว่าของอิเล็กตรอนที่กระเจิงกลับและการเอ็กซ์เรย์/การลดน้ำกระเซ็น/ซับความจุขนาดใหญ่/การสะสมอัตราสูง

คุณสมบัติ

BS-60610BDS เป็นแหล่งสะสมที่ไม่เหมือนใครซึ่งให้ความร้อนทางอ้อมกับวัสดุระเหยในชั้นที่มีลำอิเล็กตรอน
ความจุของแผ่นซับและอัตราการสะสมเพิ่มขึ้นเมื่อเทียบกับรุ่นทั่วไปของ BS-60310BDS

• ไม่ทำลายพื้นผิวเนื่องจากอิเล็กตรอนและรังสีเอกซ์ที่กระเจิงกลับ

• เหมาะสำหรับการติดฟิล์มที่มีจุดบกพร่องต่ำและมีน้ำกระเซ็นเล็กน้อย

• การควบคุมอัตราการตกสะสมและความเสถียรที่ยอดเยี่ยมเกิดขึ้นจากการควบคุมการให้ความร้อนด้วยลำแสงอิเล็กตรอนความเร็วสูง

• การเคลือบฟิล์มหนาด้วยการเพิ่มความจุของไลเนอร์

• อัตราการสะสมที่สูงขึ้นเป็นไปได้โดยการเพิ่มผลผลิตสูงสุดและพื้นที่การระเหยเมื่อเทียบกับ BS-60310BDS

ข้อกำหนดมาตรฐาน (Photo liner เป็นตัวเลือก)

หลักการระเหย

ความจุของไลเนอร์/การเปรียบเทียบความหนาของฟิล์มสะสมสูงสุด*

• ในกรณีของระยะห่างของแหล่งกำเนิดถึงพื้นผิวคือ 1100 mm

สารตกค้างหลังจากการระเหย

เครื่องหมายหลอมเหลว MgF2

จุดหลอมเหลวAI

การเปรียบเทียบการมีอยู่ของอนุภาคในฟิล์ม MgF2 ที่สะสม

แผ่นกระจกสีขาว 76 มม. เหลี่ยม
ระยะ TS : 1.1 ม. ความหนาของฟิล์ม: 150nm

ลักษณะสเปกตรัมแถบ UV ของ MgF2 ชั้นเดียว

อัตราการตกสะสมของอะลูมิเนียมที่กำลังไฟอีบีมแต่ละอัน

ตัวอย่างรูปแบบการกวาดลำแสงอิเล็กตรอน

Advanced Circle Scan โดย BS-720xxICE ซีรี่ส์ EB Power Supply

ข้อบ่งชี้จำเพาะ

ข้อกำหนดมาตรฐาน

การกำหนดค่ามาตรฐาน

อุปกรณ์เสริม

• เอาต์พุตสูงสุดขึ้นอยู่กับประเภทซับ

• ไลเนอร์ไม่รวมอยู่ใน BS-60610BDS
  โปรดใช้ซับในที่เป็นอุปกรณ์เสริมเนื่องจากซับจะส่งผลต่อประสิทธิภาพการทับถม

• สามารถเปลี่ยนจำนวนซับในเป็นผลิตภัณฑ์ที่ผลิตขึ้นเองได้

• ใช้เพื่อระงับอุณหภูมิที่เพิ่มขึ้นของพื้นผิว

• จำเป็นต้องเลือกฝาครอบ (แนะนำ) ที่ปรับปรุงประสิทธิภาพการทำความร้อนหรือตัวเว้นวรรค

ดาวน์โหลดแคตตาล็อก

BS-60610BDS ที่มาของการทิ้งระเบิด

ข้อมูลเพิ่มเติม