BS-60211DEM/BS-60210DEM
แหล่งกำเนิดลำแสงอิเล็กตรอน

แหล่งกำเนิดลำแสงอิเล็กตรอนสำหรับการสะสมโลหะด้วยสุญญากาศเหมาะสำหรับกระบวนการที่อุณหภูมิต่ำ เช่น กระบวนการยกออกสำหรับฟิล์มอิเล็กโทรด
แหล่งกำเนิดลำแสงอิเล็กทรอนิกส์นี้ติดตั้งกับดักอิเล็กตรอนแบบกระจัดกระจายและได้รับการออกแบบมาเพื่อป้องกันการปนเปื้อนข้าม

คุณสมบัติ

การสะสมที่อุณหภูมิต่ำและความเสียหายต่ำ

กับดักอิเล็กตรอนแบบกระเจิงกลับที่มีประสิทธิภาพสูงได้รับการติดตั้งในรูปแบบมาตรฐาน ทำให้สามารถจับอิเล็กตรอนที่สะท้อนแบบกระจายได้
และเอฟเฟกต์การระบายความร้อนที่เพิ่มขึ้นของแหล่งกำเนิดอีบีมสามารถลดความร้อนจากการแผ่รังสีจากรอบ ๆ แหล่งกำเนิดการระเหยได้
ผลกระทบทั้งสองนี้ช่วยลดอุณหภูมิที่เพิ่มขึ้นของพื้นผิวในระหว่างการสะสมสารโลหะในอัตราที่สูง
และยังสามารถลดความเสียหายต่อพื้นผิวและ/หรือชั้นใต้ผิวที่เกิดจากการฉายรังสีอิเล็กตรอนแบบสะท้อนกลับ 

ปืนอิเล็กทรอนิกส์ทั่วไปทำให้อุณหภูมิของสารตั้งต้นเพิ่มขึ้นในระหว่างการสะสมของสุญญากาศเนื่องจากผลกระทบทางความร้อนของอิเล็กตรอนที่กระเจิงกลับและความร้อนจากการแผ่รังสีจากรอบแหล่งระเหย
ผนังห้อง แผ่นฐาน และฝาครอบถูกทำให้ร้อนโดยการชนอิเล็กตรอนที่กระจัดกระจาย จากนั้นความร้อนจากการแผ่รังสีทุติยภูมิและระดับอุดมศึกษาจะเกิดขึ้นจากที่นั่น
เมื่ออิเล็กตรอนที่กระจัดกระจายกลับฉายรังสีพื้นผิวโดยตรง อุณหภูมิของพื้นผิวจะเพิ่มขึ้นอย่างมาก

อัตราส่วนการปล่อยอิเล็กตรอนสะท้อนแสง
วัสดุที่มีเลขอะตอมสูงสะท้อนอิเล็กตรอนมากขึ้น
ทองและแพลตตินั่มปล่อยอิเล็กตรอนเกือบครึ่ง

พลังงานของอิเล็กตรอนสะท้อนเกือบเท่ากับพลังงานตกกระทบ
เมื่อแรงดันไฟฟ้าเร่งของแหล่งกำเนิดลำแสงอิเล็กทรอนิกส์คือ -10kV พลังงานของอิเล็กตรอนที่สะท้อนกลับมีค่าประมาณ 10kV

การเคลือบฟิล์มหนา / การเคลือบหลายชั้น

ถ้วยใส่ตัวอย่างความจุสูงขนาด 40 มล. (4 ช่องหรือ 6 ช่อง) ช่วยให้สามารถเคลือบฟิล์มหนาและ/หรือเคลือบหลายชั้นได้โดยใช้วัสดุระเหยหลายชนิด

การป้องกันการปนเปื้อนข้าม

ป้องกันการปนเปื้อนของสารระเหยไม่ให้ไหลเข้ากระเป๋าที่อยู่ติดกัน

บำรุงรักษาง่าย

ฝาครอบแต่ละอันสามารถถอดออกได้อย่างง่ายดาย ดังนั้นการทำความสะอาดวัสดุระเหยที่สะสมอยู่จึงไม่เป็นปัญหามาก
สามารถถอดและแยกถ้วยใส่ตัวอย่างที่เป็นอุปกรณ์เสริมออกจาก e-gun ได้ และเตาบนสามารถแลกเปลี่ยนได้
อายุการใช้งานของไส้หลอดยาวและการแลกเปลี่ยนไส้หลอดก็ทำได้ง่ายเช่นกัน

ตัวอย่างอัตราการสะสมของวัสดุที่เป็นโลหะ

ขั้นตอนการขึ้น-ลง

การไหลของกระบวนการสร้างฟิล์มของการยกออก

สามารถรักษาอุณหภูมิพื้นผิวระหว่างการสะสมแบบสุญญากาศได้ที่อุณหภูมิต่ำกว่า 100 องศาเซลเซียส
ดังนั้น สามารถป้องกันการเสียรูปของรูปแบบต้านทาน ทำให้สามารถปรับปรุงอัตราส่วนผลผลิตของกระบวนการยกออกได้

ตัวอย่างการใช้งาน: การก่อตัวของฟิล์มอิเล็กโทรดของ LED, ฟิลเตอร์ SAW, เซมิคอนดักเตอร์กำลัง, MEMS เป็นต้น

ข้อบ่งชี้จำเพาะ

• ความแตกต่างของแบบจำลองของแหล่งกำเนิดลำแสงอิเล็กตรอนและถ้วยทดลองเป็นเพียงข้อต่อท่อน้ำหล่อเย็นเท่านั้น

ขนาดภายนอก

• ความยาวของเบ้าหลอม4กระเป๋าคือ220mm

ข้อมูลเพิ่มเติม