การเผยแพร่ Schottky Field Emission Scanning Electron Microscope รุ่น JSM-IT800(i)/(is) −FE-SEM พร้อมแพลตฟอร์มเทคโนโลยีอัจฉริยะ (IT)−

เบื้องหลังการพัฒนา

กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด (SEMs) ใช้ในหลากหลายสาขา เช่น นาโนเทคโนโลยี โลหะ สารกึ่งตัวนำ เซรามิก การแพทย์ และชีววิทยา เนื่องจากแอปพลิเคชัน SEM ขยายตัวไม่เพียงแค่ครอบคลุมการวิจัยและพัฒนาเท่านั้น แต่ยังรวมถึงการควบคุมคุณภาพและการตรวจสอบผลิตภัณฑ์ที่ไซต์การผลิตด้วย ผู้ใช้ SEM จึงต้องการข้อมูลคุณภาพสูงที่รวดเร็ว รวมถึงการยืนยันข้อมูลองค์ประกอบที่เรียบง่ายพร้อมการดำเนินการวิเคราะห์ที่ราบรื่น

เพื่อตอบสนองความต้องการเหล่านี้ JSM-IT800 ได้รวมปืนยิงอิเล็กตรอนแบบปล่อยสนาม Schottky Plus ในเลนส์ของเราสำหรับการถ่ายภาพที่มีความละเอียดสูง และระบบควบคุมแสงอิเล็กตรอนที่เป็นนวัตกรรมใหม่ "Neo Engine" รวมถึงระบบ GUI ที่ไร้รอยต่อ "SEM Center" สำหรับ การทำแผนที่องค์ประกอบที่รวดเร็วด้วยเครื่องเอ็กซ์เรย์สเปกโตรมิเตอร์แบบกระจายพลังงาน JEOL (EDS) ที่ฝังอยู่อย่างสมบูรณ์เป็นแพลตฟอร์มทั่วไป นอกจากนี้ JSM-IT800 ยังช่วยให้สามารถเปลี่ยนเลนส์ใกล้วัตถุของ SEM เป็นโมดูลได้ โดยมีเวอร์ชันต่างๆ เพื่อตอบสนองความต้องการของผู้ใช้ที่หลากหลาย

JSM-IT800 มีให้เลือกห้ารุ่นพร้อมเลนส์ใกล้วัตถุที่แตกต่างกัน: รุ่นเลนส์ไฮบริด (HL) ซึ่งเป็น FE-SEM สำหรับวัตถุประสงค์ทั่วไป; เวอร์ชันเลนส์ซูเปอร์ไฮบริด (SHL/SHL สองเวอร์ชันที่มีฟังก์ชันต่างกัน) ซึ่งช่วยให้การสังเกตและการวิเคราะห์มีความละเอียดสูงขึ้น และรุ่นกึ่งในเลนส์ที่พัฒนาขึ้นใหม่ (i/is สองรุ่นที่มีฟังก์ชันต่างกัน) ซึ่งเหมาะสำหรับการสังเกตอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ

นอกจากนี้ JSM-IT800 ยังสามารถติดตั้งเครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนแบบกระจายแสงสะท้อนกลับชนิดแสงสะท้อน (SBED) ใหม่ได้อีกด้วย SBED ช่วยให้สังเกตภาพสดได้ง่ายด้วยการตอบสนองสูง และสร้างคอนทราสต์ของวัสดุที่คมชัดแม้ในแรงดันไฟฟ้าที่เร่งต่ำ

คุณสมบัติหลัก

• ปืนอิเล็กตรอนแบบปล่อยสนามไฟฟ้า Schottky Plus ในเลนส์
  การผสานรวมที่ดีขึ้นของปืนอิเล็กตรอนและเลนส์คอนเดนเซอร์ที่มีความคลาดเคลื่อนต่ำทำให้ได้ความสว่างที่สูงขึ้น มีกระแสโพรบเพียงพอที่แรงดันเร่งต่ำ (100 nA ที่ 5 kV) ระบบ Schottky Plus ในเลนส์ที่ไม่เหมือนใครช่วยให้สามารถใช้งานได้หลากหลาย ตั้งแต่การถ่ายภาพความละเอียดสูงไปจนถึงการทำแผนที่องค์ประกอบอย่างรวดเร็ว และการวิเคราะห์การเลี้ยวเบนของการกระจายอิเล็กตรอน (EBSD)
• Neo Engine (เอ็นจิ้นออปติคัลอิเล็กตรอนใหม่)
  Neo Engine เป็นระบบออปติคัลอิเล็กตรอนที่ล้ำสมัยซึ่งสะสมเทคโนโลยีหลักของ JEOL ไว้เป็นเวลาหลายปี ผู้ใช้สามารถทำการสังเกตที่เสถียรแม้ว่าจะเปลี่ยนการสังเกตหรือเงื่อนไขการวิเคราะห์ที่แตกต่างกัน ความสามารถในการทำงานสูงสำหรับฟังก์ชันอัตโนมัติได้รับการปรับปรุงอย่างมาก
• การบูรณาการ SEM Center / EDS
  GUI "SEM Center" ผสานรวมกับ SEM imaging และการวิเคราะห์ EDS อย่างสมบูรณ์เพื่อให้การดำเนินงานราบรื่นและใช้งานง่าย JSM-IT800 สามารถปรับปรุงได้โดยการรวมส่วนเสริมซอฟต์แวร์เสริม เช่น SMILENAVI เพื่อช่วยเหลือและจัดเตรียมเส้นทางการเรียนรู้สำหรับผู้ใช้มือใหม่ และตัวกรอง LIVE-AI (Live Image Visual Enhancer – AI) เพื่อให้ได้ภาพสดคุณภาพสูงขึ้น .
• รุ่นกึ่งในเลนส์ (i/is)
  เลนส์กึ่งในให้ความละเอียดสูงเป็นพิเศษโดยการรวมลำแสงอิเล็กตรอนเข้ากับเลนส์สนามแม่เหล็กแรงสูงที่ก่อตัวอยู่ใต้เลนส์ใกล้วัตถุ นอกจากนี้ ระบบยังรวบรวมอิเล็กตรอนทุติยภูมิพลังงานต่ำที่ปล่อยออกมาจากชิ้นงานอย่างมีประสิทธิภาพ และตรวจจับอิเล็กตรอนด้วยตัวตรวจจับในเลนส์ด้านบน (UID) ดังนั้นจึงช่วยให้สามารถสังเกตและวิเคราะห์ชิ้นงานเอียงและชิ้นงานตัดขวางที่มีความละเอียดสูง ซึ่งจำเป็นสำหรับการวิเคราะห์ความล้มเหลวของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ นอกจากนี้ยังมีประโยชน์มากสำหรับการสังเกตความเปรียบต่างของแรงดันไฟฟ้า
• ตัวตรวจจับอิเล็กตรอนส่วนบน (UED)
  สามารถติดตั้งเครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนด้านบนเหนือเลนส์ใกล้วัตถุได้ ข้อได้เปรียบของระบบนี้คือความสามารถในการได้มาซึ่งภาพอิเล็กตรอนแบบกระจายกลับ และการได้มาซึ่งภาพอิเล็กตรอนทุติยภูมิร่วมกับความลำเอียงของชิ้นงาน อิเล็กตรอนที่ปล่อยออกมาจากชิ้นงานจะถูกเลือกโดย UID filer ภายในเลนส์ใกล้วัตถุ UED และ UIT อนุญาตให้รับข้อมูลหลายรายการในการสแกนครั้งเดียว
• เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนแบบกระจัดกระจายใหม่
  เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนแบบกระจายแสงชนิดเรืองแสงวาบ (SBED, ทางเลือก) มีการตอบสนองสูงและเหมาะสมที่จะรับภาพที่มีคอนทราสต์ของวัสดุด้วยแรงดันไฟฟ้าที่มีอัตราเร่งต่ำ

ข้อมูลจำเพาะที่หน้าหลัก

เป้าหมายการขาย

ลิงค์

• ผลิตภัณฑ์
  JSM-IT800 กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดภาคสนาม