การเผยแพร่ Schottky Field Emission Scanning Electron Microscope รุ่น JSM-IT800(i)/(is) −FE-SEM พร้อมแพลตฟอร์มเทคโนโลยีอัจฉริยะ (IT)−
วันวางจำหน่าย: 2021/08/31
JEOL (ประธานและ COO: Izumi Oi) ประกาศว่า บริษัทได้พัฒนารุ่นกึ่งในเลนส์ (i)/(is) ซึ่งเหมาะสมที่สุดสำหรับการสังเกตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ของกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบปล่อยสนาม Schottky รุ่น JSM-IT800 (เปิดตัวในเดือนพฤษภาคม 2020) และเริ่มจำหน่ายในเดือนสิงหาคม 2021
เบื้องหลังการพัฒนา
กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด (SEMs) ใช้ในหลากหลายสาขา เช่น นาโนเทคโนโลยี โลหะ สารกึ่งตัวนำ เซรามิก การแพทย์ และชีววิทยา เนื่องจากแอปพลิเคชัน SEM ขยายตัวไม่เพียงแค่ครอบคลุมการวิจัยและพัฒนาเท่านั้น แต่ยังรวมถึงการควบคุมคุณภาพและการตรวจสอบผลิตภัณฑ์ที่ไซต์การผลิตด้วย ผู้ใช้ SEM จึงต้องการข้อมูลคุณภาพสูงที่รวดเร็ว รวมถึงการยืนยันข้อมูลองค์ประกอบที่เรียบง่ายพร้อมการดำเนินการวิเคราะห์ที่ราบรื่น
เพื่อตอบสนองความต้องการเหล่านี้ JSM-IT800 ได้รวมปืนยิงอิเล็กตรอนแบบปล่อยสนาม Schottky Plus ในเลนส์ของเราสำหรับการถ่ายภาพที่มีความละเอียดสูง และระบบควบคุมแสงอิเล็กตรอนที่เป็นนวัตกรรมใหม่ "Neo Engine" รวมถึงระบบ GUI ที่ไร้รอยต่อ "SEM Center" สำหรับ การทำแผนที่องค์ประกอบที่รวดเร็วด้วยเครื่องเอ็กซ์เรย์สเปกโตรมิเตอร์แบบกระจายพลังงาน JEOL (EDS) ที่ฝังอยู่อย่างสมบูรณ์เป็นแพลตฟอร์มทั่วไป นอกจากนี้ JSM-IT800 ยังช่วยให้สามารถเปลี่ยนเลนส์ใกล้วัตถุของ SEM เป็นโมดูลได้ โดยมีเวอร์ชันต่างๆ เพื่อตอบสนองความต้องการของผู้ใช้ที่หลากหลาย
JSM-IT800 มีให้เลือกห้ารุ่นพร้อมเลนส์ใกล้วัตถุที่แตกต่างกัน: รุ่นเลนส์ไฮบริด (HL) ซึ่งเป็น FE-SEM สำหรับวัตถุประสงค์ทั่วไป; เวอร์ชันเลนส์ซูเปอร์ไฮบริด (SHL/SHL สองเวอร์ชันที่มีฟังก์ชันต่างกัน) ซึ่งช่วยให้การสังเกตและการวิเคราะห์มีความละเอียดสูงขึ้น และรุ่นกึ่งในเลนส์ที่พัฒนาขึ้นใหม่ (i/is สองรุ่นที่มีฟังก์ชันต่างกัน) ซึ่งเหมาะสำหรับการสังเกตอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ
นอกจากนี้ JSM-IT800 ยังสามารถติดตั้งเครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนแบบกระจายแสงสะท้อนกลับชนิดแสงสะท้อน (SBED) ใหม่ได้อีกด้วย SBED ช่วยให้สังเกตภาพสดได้ง่ายด้วยการตอบสนองสูง และสร้างคอนทราสต์ของวัสดุที่คมชัดแม้ในแรงดันไฟฟ้าที่เร่งต่ำ
คุณสมบัติหลัก
- ปืนอิเล็กตรอนแบบปล่อยสนามไฟฟ้า Schottky Plus ในเลนส์
การผสานรวมที่ดีขึ้นของปืนอิเล็กตรอนและเลนส์คอนเดนเซอร์ที่มีความคลาดเคลื่อนต่ำทำให้ได้ความสว่างที่สูงขึ้น มีกระแสโพรบเพียงพอที่แรงดันเร่งต่ำ (100 nA ที่ 5 kV) ระบบ Schottky Plus ในเลนส์ที่ไม่เหมือนใครช่วยให้สามารถใช้งานได้หลากหลาย ตั้งแต่การถ่ายภาพความละเอียดสูงไปจนถึงการทำแผนที่องค์ประกอบอย่างรวดเร็ว และการวิเคราะห์การเลี้ยวเบนของการกระจายอิเล็กตรอน (EBSD) - Neo Engine (เอ็นจิ้นออปติคัลอิเล็กตรอนใหม่)
Neo Engine เป็นระบบออปติคัลอิเล็กตรอนที่ล้ำสมัยซึ่งสะสมเทคโนโลยีหลักของ JEOL ไว้เป็นเวลาหลายปี ผู้ใช้สามารถทำการสังเกตที่เสถียรแม้ว่าจะเปลี่ยนการสังเกตหรือเงื่อนไขการวิเคราะห์ที่แตกต่างกัน ความสามารถในการทำงานสูงสำหรับฟังก์ชันอัตโนมัติได้รับการปรับปรุงอย่างมาก - การบูรณาการ SEM Center / EDS
GUI "SEM Center" ผสานรวมกับ SEM imaging และการวิเคราะห์ EDS อย่างสมบูรณ์เพื่อให้การดำเนินงานราบรื่นและใช้งานง่าย JSM-IT800 สามารถปรับปรุงได้โดยการรวมส่วนเสริมซอฟต์แวร์เสริม เช่น SMILENAVI เพื่อช่วยเหลือและจัดเตรียมเส้นทางการเรียนรู้สำหรับผู้ใช้มือใหม่ และตัวกรอง LIVE-AI (Live Image Visual Enhancer – AI) เพื่อให้ได้ภาพสดคุณภาพสูงขึ้น . - รุ่นกึ่งในเลนส์ (i/is)
เลนส์กึ่งในให้ความละเอียดสูงเป็นพิเศษโดยการรวมลำแสงอิเล็กตรอนเข้ากับเลนส์สนามแม่เหล็กแรงสูงที่ก่อตัวอยู่ใต้เลนส์ใกล้วัตถุ นอกจากนี้ ระบบยังรวบรวมอิเล็กตรอนทุติยภูมิพลังงานต่ำที่ปล่อยออกมาจากชิ้นงานอย่างมีประสิทธิภาพ และตรวจจับอิเล็กตรอนด้วยตัวตรวจจับในเลนส์ด้านบน (UID) ดังนั้นจึงช่วยให้สามารถสังเกตและวิเคราะห์ชิ้นงานเอียงและชิ้นงานตัดขวางที่มีความละเอียดสูง ซึ่งจำเป็นสำหรับการวิเคราะห์ความล้มเหลวของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ นอกจากนี้ยังมีประโยชน์มากสำหรับการสังเกตความเปรียบต่างของแรงดันไฟฟ้า - ตัวตรวจจับอิเล็กตรอนส่วนบน (UED)
สามารถติดตั้งเครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนด้านบนเหนือเลนส์ใกล้วัตถุได้ ข้อได้เปรียบของระบบนี้คือความสามารถในการได้มาซึ่งภาพอิเล็กตรอนแบบกระจายกลับ และการได้มาซึ่งภาพอิเล็กตรอนทุติยภูมิร่วมกับความลำเอียงของชิ้นงาน อิเล็กตรอนที่ปล่อยออกมาจากชิ้นงานจะถูกเลือกโดย UID filer ภายในเลนส์ใกล้วัตถุ UED และ UIT อนุญาตให้รับข้อมูลหลายรายการในการสแกนครั้งเดียว - เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนแบบกระจัดกระจายใหม่
เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนแบบกระจายแสงชนิดเรืองแสงวาบ (SBED, ทางเลือก) มีการตอบสนองสูงและเหมาะสมที่จะรับภาพที่มีคอนทราสต์ของวัสดุด้วยแรงดันไฟฟ้าที่มีอัตราเร่งต่ำ
ข้อมูลจำเพาะที่หน้าหลัก
รุ่น JSM-IT800i | JSM-IT800 เป็นรุ่น | |
---|---|---|
ความละเอียด (1 กิโลโวลต์) | นาโนเมตร 0.7 | นาโนเมตร 1.0 |
ความละเอียด (15 กิโลโวลต์) | นาโนเมตร 0.5 | นาโนเมตร 0.6 |
แรงดันไฟฟ้าเร่ง | 0.01 - 30 kV | |
เครื่องตรวจจับมาตรฐาน | เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนทุติยภูมิ (SED) ตัวตรวจจับเลนส์ด้านบน (UID) ตัวตรวจจับอิเล็กตรอนส่วนบน (UED) |
เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนทุติยภูมิ (SED) ตัวตรวจจับเลนส์ด้านบน (UID) |
ปืนอิเล็กตรอน | ปืนอิเล็กตรอนแบบปล่อยสนามไฟฟ้า Schottky Plus ในเลนส์ | |
โพรบปัจจุบัน | ไม่กี่ pA ถึง 500 nA (30 kV) | ไม่กี่ pA ถึง 300 nA (30 kV) |
ไม่กี่ pA ถึง 100 nA (5 kV) | ||
เลนส์ใกล้วัตถุ | เลนส์กึ่งในเลนส์ | |
ขั้นตอนตัวอย่าง | ระยะโกนิโอมิเตอร์แบบยูเซนตริกแบบเต็ม | |
การเคลื่อนไหวบนเวที | Type1 (มาตรฐาน) X; 70 มม. Y; 50 มม. Z; 1 ถึง 41 มม Type2 (ทางเลือก) X; 100 มม. วาย; 100 มม. Z; 1 ถึง 50 มม Type3 (ทางเลือก) X; 140 มม. วาย; 80 มม. Z; 1 ถึง 41 มม เอียง; -5 ถึง 70° การหมุน; 360° |
|
เครื่องตรวจจับ EDS | ความละเอียดพลังงาน: 133 eV หรือดีกว่า องค์ประกอบที่ตรวจจับได้ Be to U พื้นที่ตรวจจับ: 60 มม2 |

เป้าหมายการขาย
รุ่น JSM-IT800i: 5 เครื่อง/ปีรุ่น JSM-IT800is: 40 เครื่อง/ปี
ลิงค์


คุณเป็นผู้เชี่ยวชาญทางการแพทย์หรือบุคลากรที่เกี่ยวข้องกับการรักษาพยาบาลหรือไม่?
ไม่
โปรดทราบว่าหน้าเหล่านี้ไม่ได้มีวัตถุประสงค์เพื่อให้ข้อมูลเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์แก่ประชาชนทั่วไป