ปิด Btn

เลือกไซต์ภูมิภาคของคุณ

ปิดหน้านี้

การเผยแพร่ Schottky Field Emission Scanning Electron Microscope รุ่น JSM-IT800(i)/(is) −FE-SEM พร้อมแพลตฟอร์มเทคโนโลยีอัจฉริยะ (IT)−

วันวางจำหน่าย: 2021/08/31

JEOL (ประธานและ COO: Izumi Oi) ประกาศว่า บริษัทได้พัฒนารุ่นกึ่งในเลนส์ (i)/(is) ซึ่งเหมาะสมที่สุดสำหรับการสังเกตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ของกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบปล่อยสนาม Schottky รุ่น JSM-IT800 (เปิดตัวในเดือนพฤษภาคม 2020) และเริ่มจำหน่ายในเดือนสิงหาคม 2021

เบื้องหลังการพัฒนา

กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด (SEMs) ใช้ในหลากหลายสาขา เช่น นาโนเทคโนโลยี โลหะ สารกึ่งตัวนำ เซรามิก การแพทย์ และชีววิทยา เนื่องจากแอปพลิเคชัน SEM ขยายตัวไม่เพียงแค่ครอบคลุมการวิจัยและพัฒนาเท่านั้น แต่ยังรวมถึงการควบคุมคุณภาพและการตรวจสอบผลิตภัณฑ์ที่ไซต์การผลิตด้วย ผู้ใช้ SEM จึงต้องการข้อมูลคุณภาพสูงที่รวดเร็ว รวมถึงการยืนยันข้อมูลองค์ประกอบที่เรียบง่ายพร้อมการดำเนินการวิเคราะห์ที่ราบรื่น

เพื่อตอบสนองความต้องการเหล่านี้ JSM-IT800 ได้รวมปืนยิงอิเล็กตรอนแบบปล่อยสนาม Schottky Plus ในเลนส์ของเราสำหรับการถ่ายภาพที่มีความละเอียดสูง และระบบควบคุมแสงอิเล็กตรอนที่เป็นนวัตกรรมใหม่ "Neo Engine" รวมถึงระบบ GUI ที่ไร้รอยต่อ "SEM Center" สำหรับ การทำแผนที่องค์ประกอบที่รวดเร็วด้วยเครื่องเอ็กซ์เรย์สเปกโตรมิเตอร์แบบกระจายพลังงาน JEOL (EDS) ที่ฝังอยู่อย่างสมบูรณ์เป็นแพลตฟอร์มทั่วไป นอกจากนี้ JSM-IT800 ยังช่วยให้สามารถเปลี่ยนเลนส์ใกล้วัตถุของ SEM เป็นโมดูลได้ โดยมีเวอร์ชันต่างๆ เพื่อตอบสนองความต้องการของผู้ใช้ที่หลากหลาย

JSM-IT800 มีให้เลือกห้ารุ่นพร้อมเลนส์ใกล้วัตถุที่แตกต่างกัน: รุ่นเลนส์ไฮบริด (HL) ซึ่งเป็น FE-SEM สำหรับวัตถุประสงค์ทั่วไป; เวอร์ชันเลนส์ซูเปอร์ไฮบริด (SHL/SHL สองเวอร์ชันที่มีฟังก์ชันต่างกัน) ซึ่งช่วยให้การสังเกตและการวิเคราะห์มีความละเอียดสูงขึ้น และรุ่นกึ่งในเลนส์ที่พัฒนาขึ้นใหม่ (i/is สองรุ่นที่มีฟังก์ชันต่างกัน) ซึ่งเหมาะสำหรับการสังเกตอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ

นอกจากนี้ JSM-IT800 ยังสามารถติดตั้งเครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนแบบกระจายแสงสะท้อนกลับชนิดแสงสะท้อน (SBED) ใหม่ได้อีกด้วย SBED ช่วยให้สังเกตภาพสดได้ง่ายด้วยการตอบสนองสูง และสร้างคอนทราสต์ของวัสดุที่คมชัดแม้ในแรงดันไฟฟ้าที่เร่งต่ำ

คุณสมบัติหลัก

  • ปืนอิเล็กตรอนแบบปล่อยสนามไฟฟ้า Schottky Plus ในเลนส์
    การผสานรวมที่ดีขึ้นของปืนอิเล็กตรอนและเลนส์คอนเดนเซอร์ที่มีความคลาดเคลื่อนต่ำทำให้ได้ความสว่างที่สูงขึ้น มีกระแสโพรบเพียงพอที่แรงดันเร่งต่ำ (100 nA ที่ 5 kV) ระบบ Schottky Plus ในเลนส์ที่ไม่เหมือนใครช่วยให้สามารถใช้งานได้หลากหลาย ตั้งแต่การถ่ายภาพความละเอียดสูงไปจนถึงการทำแผนที่องค์ประกอบอย่างรวดเร็ว และการวิเคราะห์การเลี้ยวเบนของการกระจายอิเล็กตรอน (EBSD)
  • Neo Engine (เอ็นจิ้นออปติคัลอิเล็กตรอนใหม่)
    Neo Engine เป็นระบบออปติคัลอิเล็กตรอนที่ล้ำสมัยซึ่งสะสมเทคโนโลยีหลักของ JEOL ไว้เป็นเวลาหลายปี ผู้ใช้สามารถทำการสังเกตที่เสถียรแม้ว่าจะเปลี่ยนการสังเกตหรือเงื่อนไขการวิเคราะห์ที่แตกต่างกัน ความสามารถในการทำงานสูงสำหรับฟังก์ชันอัตโนมัติได้รับการปรับปรุงอย่างมาก
  • การบูรณาการ SEM Center / EDS
    GUI "SEM Center" ผสานรวมกับ SEM imaging และการวิเคราะห์ EDS อย่างสมบูรณ์เพื่อให้การดำเนินงานราบรื่นและใช้งานง่าย JSM-IT800 สามารถปรับปรุงได้โดยการรวมส่วนเสริมซอฟต์แวร์เสริม เช่น SMILENAVI เพื่อช่วยเหลือและจัดเตรียมเส้นทางการเรียนรู้สำหรับผู้ใช้มือใหม่ และตัวกรอง LIVE-AI (Live Image Visual Enhancer – AI) เพื่อให้ได้ภาพสดคุณภาพสูงขึ้น .
  • รุ่นกึ่งในเลนส์ (i/is)
    เลนส์กึ่งในให้ความละเอียดสูงเป็นพิเศษโดยการรวมลำแสงอิเล็กตรอนเข้ากับเลนส์สนามแม่เหล็กแรงสูงที่ก่อตัวอยู่ใต้เลนส์ใกล้วัตถุ นอกจากนี้ ระบบยังรวบรวมอิเล็กตรอนทุติยภูมิพลังงานต่ำที่ปล่อยออกมาจากชิ้นงานอย่างมีประสิทธิภาพ และตรวจจับอิเล็กตรอนด้วยตัวตรวจจับในเลนส์ด้านบน (UID) ดังนั้นจึงช่วยให้สามารถสังเกตและวิเคราะห์ชิ้นงานเอียงและชิ้นงานตัดขวางที่มีความละเอียดสูง ซึ่งจำเป็นสำหรับการวิเคราะห์ความล้มเหลวของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ นอกจากนี้ยังมีประโยชน์มากสำหรับการสังเกตความเปรียบต่างของแรงดันไฟฟ้า
  • ตัวตรวจจับอิเล็กตรอนส่วนบน (UED)
    สามารถติดตั้งเครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนด้านบนเหนือเลนส์ใกล้วัตถุได้ ข้อได้เปรียบของระบบนี้คือความสามารถในการได้มาซึ่งภาพอิเล็กตรอนแบบกระจายกลับ และการได้มาซึ่งภาพอิเล็กตรอนทุติยภูมิร่วมกับความลำเอียงของชิ้นงาน อิเล็กตรอนที่ปล่อยออกมาจากชิ้นงานจะถูกเลือกโดย UID filer ภายในเลนส์ใกล้วัตถุ UED และ UIT อนุญาตให้รับข้อมูลหลายรายการในการสแกนครั้งเดียว
  • เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนแบบกระจัดกระจายใหม่
    เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนแบบกระจายแสงชนิดเรืองแสงวาบ (SBED, ทางเลือก) มีการตอบสนองสูงและเหมาะสมที่จะรับภาพที่มีคอนทราสต์ของวัสดุด้วยแรงดันไฟฟ้าที่มีอัตราเร่งต่ำ

ข้อมูลจำเพาะที่หน้าหลัก

รุ่น JSM-IT800i JSM-IT800 เป็นรุ่น
ความละเอียด (1 กิโลโวลต์) นาโนเมตร 0.7 นาโนเมตร 1.0
ความละเอียด (15 กิโลโวลต์) นาโนเมตร 0.5 นาโนเมตร 0.6
แรงดันไฟฟ้าเร่ง 0.01 - 30 kV
เครื่องตรวจจับมาตรฐาน เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนทุติยภูมิ (SED)
ตัวตรวจจับเลนส์ด้านบน (UID)
ตัวตรวจจับอิเล็กตรอนส่วนบน (UED)
เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนทุติยภูมิ (SED)
ตัวตรวจจับเลนส์ด้านบน (UID)
ปืนอิเล็กตรอน ปืนอิเล็กตรอนแบบปล่อยสนามไฟฟ้า Schottky Plus ในเลนส์
โพรบปัจจุบัน ไม่กี่ pA ถึง 500 nA (30 kV) ไม่กี่ pA ถึง 300 nA (30 kV)
ไม่กี่ pA ถึง 100 nA (5 kV)
เลนส์ใกล้วัตถุ เลนส์กึ่งในเลนส์
ขั้นตอนตัวอย่าง ระยะโกนิโอมิเตอร์แบบยูเซนตริกแบบเต็ม
การเคลื่อนไหวบนเวที Type1 (มาตรฐาน) X; 70 มม. Y; 50 มม. Z; 1 ถึง 41 มม
Type2 (ทางเลือก) X; 100 มม. วาย; 100 มม. Z; 1 ถึง 50 มม
Type3 (ทางเลือก) X; 140 มม. วาย; 80 มม. Z; 1 ถึง 41 มม
เอียง; -5 ถึง 70° การหมุน; 360°
เครื่องตรวจจับ EDS ความละเอียดพลังงาน: 133 eV หรือดีกว่า
องค์ประกอบที่ตรวจจับได้ Be to U
พื้นที่ตรวจจับ: 60 มม2
JSM-IT800is

เป้าหมายการขาย

รุ่น JSM-IT800i: 5 เครื่อง/ปี
รุ่น JSM-IT800is: 40 เครื่อง/ปี

ลิงค์

ปิดหน้านี้
แจ้งให้ทราบ

คุณเป็นผู้เชี่ยวชาญทางการแพทย์หรือบุคลากรที่เกี่ยวข้องกับการรักษาพยาบาลหรือไม่?

ไม่

โปรดทราบว่าหน้าเหล่านี้ไม่ได้มีวัตถุประสงค์เพื่อให้ข้อมูลเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์แก่ประชาชนทั่วไป