การเปิดตัวกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดภาคสนามชอตต์กี้รุ่นใหม่ JSM-IT800 −FE-SEM พร้อมแพลตฟอร์มเทคโนโลยีอัจฉริยะ (IT)−
วันวางจำหน่าย: 2020/05/25
JEOL Ltd. (ประธานและประธานเจ้าหน้าที่ฝ่ายปฏิบัติการ Izumi Oi) ประกาศเปิดตัวกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดสนาม Schottky รุ่นใหม่ JSM-IT800 ซึ่งจะวางจำหน่ายในเดือนพฤษภาคม 2020
ประวัติการพัฒนาผลิตภัณฑ์
กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด (SEMs) ใช้ในหลากหลายสาขา เช่น นาโนเทคโนโลยี โลหะ สารกึ่งตัวนำ เซรามิก การแพทย์ และชีววิทยา เนื่องจากแอปพลิเคชัน SEM ขยายตัวไม่เพียงแค่ครอบคลุมการวิจัยและพัฒนาเท่านั้น แต่ยังรวมถึงการควบคุมคุณภาพและการตรวจสอบผลิตภัณฑ์ที่ไซต์การผลิตด้วย ผู้ใช้ SEM จึงต้องการข้อมูลคุณภาพสูงที่รวดเร็ว รวมถึงการยืนยันข้อมูลองค์ประกอบที่เรียบง่ายพร้อมการดำเนินการวิเคราะห์ที่ราบรื่น
เพื่อตอบสนองความต้องการเหล่านี้ JSM-IT800 ที่มีแพลตฟอร์มเทคโนโลยีอัจฉริยะ (IT) ได้รวมเอาปืนปล่อยอิเล็กตรอนสนาม Schottky Plus ในเลนส์ของเราสำหรับการถ่ายภาพความละเอียดสูงไปจนถึงการทำแผนที่องค์ประกอบอย่างรวดเร็ว และระบบควบคุมแสงอิเล็กตรอนที่เป็นนวัตกรรมใหม่ "Neo Engine" เช่นเดียวกับ "SEM Center" แบบ GUI ที่ไร้รอยต่อสำหรับการรวมเครื่องสเปกโตรมิเตอร์รังสีเอกซ์แบบกระจายพลังงาน JEOL (EDS) อย่างเต็มรูปแบบ นอกจากนี้ JSM-IT800 ยังช่วยให้สามารถกำหนดค่าเลนส์ใกล้วัตถุได้สองประเภท โดยนำเสนอรุ่นต่างๆ เพื่อตอบสนองความต้องการของผู้ใช้ที่หลากหลาย
JSM-IT800 ทั้งสองรุ่นประกอบด้วยรุ่นเลนส์ไฮบริด (HL) สำหรับ SEM วัตถุประสงค์ทั่วไป และรุ่นเลนส์ซูเปอร์ไฮบริด (SHL) สำหรับการสังเกตความละเอียดสูงที่ได้รับการปรับปรุงและการวิเคราะห์ต่างๆ นอกจากนี้ JSM-IT800 ของรุ่น SHL ยังมาพร้อมกับ Upper Hybrid Detector (UHD) ใหม่เพื่อให้ได้ภาพอัตราส่วนสัญญาณต่อสัญญาณรบกวนที่สูงขึ้นสำหรับการศึกษาโครงสร้างที่ดีของชิ้นงานทดสอบ
นอกจากนี้ JSM-IT800 ยังสามารถติดตั้งเครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนแบบกระจายแสงสะท้อนกลับชนิดเรืองแสงวาบใหม่ (SBED) และเครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนแบบกระจายกลับแบบกระจายแสงอเนกประสงค์ (VBED) SBED ช่วยให้ได้ภาพที่มีการตอบสนองสูงและสร้างคอนทราสต์ของวัสดุที่คมชัดแม้ในแรงดันไฟฟ้าที่เร่งต่ำ VBED สามารถรับภาพ 3 มิติ ภูมิประเทศ และวัสดุที่มีความคมชัด
คุณสมบัติหลัก
- ปืนอิเล็กตรอนแบบปล่อยสนามไฟฟ้า Schottky Plus ในเลนส์
การผสานรวมที่ดีขึ้นของปืนอิเล็กตรอนและเลนส์คอนเดนเซอร์ที่มีความคลาดเคลื่อนต่ำทำให้ได้ความสว่างที่สูงขึ้น มีกระแสโพรบเพียงพอที่แรงดันเร่งต่ำ (100 nA ที่ 5 kV) ระบบ Schottky Plus ในเลนส์ที่เป็นเอกลักษณ์ช่วยให้สามารถใช้งานได้หลากหลาย ตั้งแต่การถ่ายภาพความละเอียดสูงไปจนถึงการทำแผนที่องค์ประกอบอย่างรวดเร็ว การวิเคราะห์การเลี้ยวเบนของอิเล็กตรอนแบบสะท้อนกลับ (EBSD) และสเปกโทรสโกปีการปล่อยรังสีเอกซ์แบบอ่อน (SXES) โดยไม่จำเป็นต้องเปลี่ยนเงื่อนไขของเลนส์ . - Neo Engine (เอ็นจิ้นออปติคัลอิเล็กตรอนใหม่)
Neo Engine เป็นระบบออปติคอลอิเล็กตรอนที่ล้ำสมัยซึ่งสะสมเทคโนโลยีหลักของ JEOL มานานหลายปี ผู้ใช้สามารถทำการสังเกตที่เสถียรได้แม้ในขณะที่เปลี่ยนเงื่อนไขการสังเกตหรือการวิเคราะห์ที่แตกต่างกัน ความสามารถในการทำงานสูงสำหรับฟังก์ชันอัตโนมัติได้รับการปรับปรุงอย่างมาก - การบูรณาการ SEM Center / EDS
GUI "SEM Center" ผสานรวมกับ SEM imaging และการวิเคราะห์ EDS อย่างสมบูรณ์เพื่อให้การดำเนินงานราบรื่นและใช้งานง่าย JSM-IT800 สามารถปรับปรุงได้โดยการรวมส่วนเสริมซอฟต์แวร์เสริม เช่น SMILENAVI เพื่อช่วยเหลือและจัดเตรียมเส้นทางการเรียนรู้สำหรับผู้ใช้มือใหม่ และตัวกรอง LIVE-AI (Live Image Visual Enhancer – AI) เพื่อให้ได้ภาพสดคุณภาพสูงขึ้น . - เวอร์ชันเลนส์ไฮบริด (HL) และเวอร์ชันเลนส์ซูเปอร์ไฮบริด (SHL)
จากการผสมผสานระหว่างเลนส์สนามไฟฟ้าสถิตและสนามแม่เหล็กไฟฟ้า ทำให้มีรุ่นเลนส์ใกล้วัตถุสองประเภทให้เลือก การกำหนดค่าที่แตกต่างกันทำให้สามารถตอบสนองความต้องการที่หลากหลายของผู้ใช้ได้มากขึ้น ทำให้ได้ภาพที่มีความละเอียดเชิงพื้นที่สูงและวิเคราะห์ตัวอย่างได้หลากหลาย ตั้งแต่วัสดุแม่เหล็กไปจนถึงฉนวน ในขณะที่ยังคงคุณสมบัติเดิมของ JSM-IT800 - เครื่องตรวจจับไฮบริดตอนบน (UHD)
UHD ซึ่งติดตั้งอยู่ในเลนส์ใกล้วัตถุสำหรับรุ่น SHL ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการตรวจจับอิเล็กตรอนที่เกิดจากชิ้นงานทดสอบได้อย่างมาก สิ่งนี้นำไปสู่การได้มาซึ่งภาพที่มีอัตราส่วนสัญญาณต่อสัญญาณรบกวนที่สูงขึ้น - ใหม่ เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนแบบกระเจิงกลับ
เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนแบบกระจายรังสีชนิดสะท้อนกลับ (SBED, อุปกรณ์เสริม) มีการตอบสนองสูงและเหมาะสมในการรับภาพที่มีคอนทราสต์ของวัสดุด้วยแรงดันไฟฟ้าที่มีอัตราเร่งต่ำ เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนแบบกระจายกลับแบบอเนกประสงค์ (VBED, อุปกรณ์เสริม) พร้อมการออกแบบองค์ประกอบเครื่องตรวจจับแบบแบ่งส่วน ช่วยให้ผู้ใช้สามารถเลือกกำหนดค่าแต่ละส่วนหรือใช้การตั้งค่าเครื่องตรวจจับที่ตั้งโปรแกรมไว้ล่วงหน้าเพื่อรับภาพเพื่อให้ข้อมูลสามมิติ ภูมิประเทศ หรือองค์ประกอบ
ข้อมูลจำเพาะที่หน้าหลัก
รุ่น JSM-IT800 SHL | รุ่น JSM-IT800 HL | |
---|---|---|
ความละเอียด (1 กิโลโวลต์) | นาโนเมตร 0.7 | นาโนเมตร 1.3 |
ความละเอียด (15 กิโลโวลต์) | นาโนเมตร 0.5 | - |
ความละเอียด (20 กิโลโวลต์) | - | นาโนเมตร 0.9 |
แรงดันไฟฟ้าเร่ง | 0.01 ถึง 30 kV | |
เครื่องตรวจจับมาตรฐาน | เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนทุติยภูมิ (SED) | |
เครื่องตรวจจับไฮบริดตอนบน (UHD) | ตัวตรวจจับอิเล็กตรอนส่วนบน (UED) | |
ปืนอิเล็กตรอน | ปืนอิเล็กตรอนแบบปล่อยสนามไฟฟ้า Schottky Plus ในเลนส์ | |
โพรบปัจจุบัน | ไม่กี่ pA ถึง 500 nA (30 kV) | ไม่กี่ pA ถึง 300 nA (30 kV) |
ไม่กี่ pA ถึง 100 nA (5 kV) | ||
เลนส์ใกล้วัตถุ | เลนส์ซูเปอร์ไฮบริด (SHL) | เลนส์ไฮบริด (HL) |
ขั้นตอนตัวอย่าง | ระยะโกนิโอมิเตอร์แบบยูเซนตริกแบบเต็ม | |
การเคลื่อนไหวของตัวอย่าง | X: 70 มม. Y: 50 มม. Z: 1 ถึง 41 มม | |
เอียง: –5 ถึง 70° การหมุน: 360° | ||
เครื่องตรวจจับ EDS | ความละเอียดพลังงาน: 133 eV หรือดีกว่า | |
องค์ประกอบที่ตรวจจับได้: B ถึง U | ||
พื้นที่ตรวจจับ: 60 มม2 |
เป้าหมายการขายต่อหน่วยประจำปี
1) รุ่น JSM-IT800 SHL: 90 เครื่อง/ปี2) รุ่น JSM-IT800 HL: 50 เครื่อง/ปี
คุณเป็นผู้เชี่ยวชาญทางการแพทย์หรือบุคลากรที่เกี่ยวข้องกับการรักษาพยาบาลหรือไม่?
ไม่
โปรดทราบว่าหน้าเหล่านี้ไม่ได้มีวัตถุประสงค์เพื่อให้ข้อมูลเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์แก่ประชาชนทั่วไป